功能:去除單/多晶硅片表面附著的硅粉、金屬粉末、有機物、懸浮液和漂洗介質(zhì)等
每批次可處理硅片400片(即100片花籃4個)
產(chǎn)線兼容156×156mm型號單/多晶太陽能電池硅片(硅片厚度140~220um)切削/脫膠后的清洗、漂洗及烘干工藝
設(shè)備自動上/下料,中間清洗、漂洗移載全過程由兩組機械手負(fù)責(zé);熱風(fēng)通道內(nèi)花籃在各工藝位置間的相對位移由馬達同步輸送負(fù)責(zé);空花籃經(jīng)空籃回收輸送線從設(shè)備末端傳送至設(shè)備前端,由移載機從分選儀抓取送到回收輸送線上。