功能：去除單/多晶硅片表面附著的硅粉、金屬粉末、有機物、懸浮液和漂洗介質等

每批次可處理硅片400片(即100片花籃4個)

產線兼容156×156mm型號單/多晶太陽能電池硅片（硅片厚度140~220um）切削/脫膠后的清洗、漂洗及烘干工藝

設備自動上/下料，中間清洗、漂洗移載全過程由兩組機械手負責；熱風通道內花籃在各工藝位置間的相對位移由馬達同步輸送負責；空花籃經空籃回收輸送線從設備末端傳送至設備前端，由移載機從分選儀抓取送到回收輸送線上。