功能:2~4寸藍寶石襯底片和視窗片退火前刷洗
本設備為人工將藍寶石晶圓片放入刷洗腔內(nèi),蓋上蓋子,按啟動按鈕,按設定好的刷洗時間進行活性劑噴淋刷洗,純水噴淋刷洗,清洗結(jié)束報警,打開蓋子取出晶圓片。